Kuidas kasutada ultrahelipuhastit monokristalliliste ränikiipide puhastamiseks pooljuhtide tööstuses?

Pooljuhtmaterjalide tehnoloogia arenedes esitatakse kõrgemaid nõudeid ka räniplaatide spetsifikatsioonidele ja kvaliteedile ning turul kasvab järjest enam nõudlus suure läbimõõduga mikrotöötluseks sobivate räniplaatide järele. Pooljuhte, kiipe, integraallülitusi, disaini, paigutust, kiipe, tootmist ja protsesse kasutatakse praegu kogu maailmas laialdaselt täiustatud lõikamis-, lihvimis-, poleerimis- ja puhaspakendamise protsessidega, mis teeb kiletootmise tehnoloogias olulisi edusamme. Uusima tipptehnoloogia kasutuselevõtt on toonud kaasa suure jõudlusega kiipide, nagu SOI, proovitootmise ja arendamise, mis on jõudnud masstootmise etappi. Vastuseks on räniplaatide tootjad suurendanud oma investeeringuid 300 mm räniplaatide jaoks mõeldud seadmetesse, täiustades veelgi disainireegleid. Ultraheli puhastustehnoloogiat kasutades pühitakse ultraheli sagedus puhastusprotsessi käigus mõistlikus vahemikus edasi-tagasi, ajades puhastuslahuse peeneks tagasivooluks, mis eemaldab kiiresti mustuse töödeldava detaili pinnalt, samal ajal kui ultraheli koorib selle maha. , parandades seeläbi puhastamise tõhusust.

Ultraheli puhastamise meetod ja selle paigutuse suund

Asetage pestud ja jahvatatud räniplaadid horisontaalselt puhastuspaagi põhja kohale tarakujulisele kvartsvardaraamile. Tingimusel, et puhastuspaagis on deioniseeritud vee kõrgus ja pidev vool, kasutage puhastamiseks puhastuspaagi põhjas asuvat ultraheliostsillaatorit. Ultraheli sagedus on 40 kHz. Pöörake jahvatatud ränivahvlid ümber iga 5 minuti järel ja jätkake ülepesu, kuni pestud räniplaatide pinnale ei ilmu musti saasteaineid. Ühekristalliliste räniplaatide ultrahelipuhastuse puhastuspaagi sein on varustatud sisse- ja väljalaskeavaga ning paagi põhi on varustatud ultraheliostsillaatoriga. Puhastuspaagi sees on raam monokristall-ränivahvlite paigutamiseks. Raami alumine sein on moodustatud aiakujulise kvartsvardaga ja tasapind on madalam kui deioniseeritud vee tase. Kogu raami toetavad puhastuspaagis olevad tugijalad.

Konkreetse teostuse ajal on kvartsvarda ja puhastuspaagi põhjaseina vaheline kaugus 15 sentimeetrit. Puhastamise ajal saab monokristallilise ränivahvli asetada tasapinnaliselt kvartsvardale, asendades olemasoleva vertikaalse superpesu lameda superpesuga, välistades sellega nähtuse, et räniplaadi pinnale kogunevad saasteained vertikaalses superpesuseisundis, mille tulemuseks on ebapuhas puhastus. kohalikest piirkondadest. Lisaks võib ränivahvlit kandev pehme lillekorv absorbeerida ja blokeerida ultrahelilainete ülekande, mille tulemuseks on räniplaadi pinnal olevate kohalike alade ebapuhas puhastamine. Selle eeliseks on lihtsam struktuur ja väiksem veetarbimine.